全文文献 工具书 数字 学术定义 翻译助手 学术趋势 更多
搜索帮助
意见反馈
 
 
"微机电系统" 英文对照

mems;
"微机电系统" 在学术文献中的解释

1、微机电系统所谓微机电系统主要是指外形轮廓尺寸在毫米级、构成元件的尺寸在微米至纳米级的可控制、可运动的微型机械电子装置
文献来源
2、微机电系统是指包括微传感器、微致动器(亦称微执行器)、微能源等微机械基本部分以及高性能的电子集成线路组成的微机电器件或装置.可以说微机电系统是一种获取、处理信息和执行机械操作的集成器件
文献来源
3、微机电系统是指利用硅晶片进行加工的三维机械件和电子电路组成的系统.这里的机械加工方法与机械电子学加工方法不同,微机电系统通常采用LIGA、X光刻蚀、离子刻蚀等光电刻蚀加工
文献来源
4、微机电系统是指总尺度很微小,如不超过几个毫米.纳米技术是某一尺度在纳米级的技术.二者是有区别的,但又有紧密联系,常统称为微纳技术
文献来源
5、微机电系统是指基于微加工技术设计、制造,并可批量生产的、集电子元器件和机械结构为一体的微小系统.技术的加工尺度范围可由图NEMSMEMS1米电子学的基础和保证
文献来源
6、所谓微机电系统,是指外形尺寸在毫米以下,构成元件尺寸在微米一纳米(10一‘一10一’)量级的可控制、可运动的微型机电装置
文献来源
7、微机电系统是指把传感器继电器发动机等器件缩小到毫米或微米尺寸,以便更加方便地隐藏、携带,甚至植入.MEMS技术采用自动化生产技术,在集成化与成本方面都具有显著优势
文献来源
8、微机械电子系统(MEMS,microelectronicmechanicalsystem),又可简称为微机电系统,是采用纳米技术加工出的新一代微型机电装置
文献来源
9、微机电系统是指集微型结构、微型传感器.微型执行器以及相应的信号处理控制电路、直至接口、通讯和电源等于一体的微型器件或系统
文献来源
10、在美国,它被简称为微机电系统,在欧洲通常称之为“微系统(MicroSystem)”,在日本通常称之为“微机械(MicroMa鄄chine)”
文献来源
"微机电系统" 相关的学术图片

图6陀螺环的微机电系统制造工序
更多>>
"微机电系统" 在工具书中的参考阅读

微机
"微机电系统" 在CNKI文献中的参考阅读

微电子机械系统
热点年份中 "微机电系统" 的相关高频被引文章

2005微机电系统的研究与展望
林忠华,胡国清,刘文艳,张慧杰 - 被引次数 5 次
微机电系统及其应用
史铁林 钟飞 何涛 - 被引次数 2 次
微机电系统发展的新动向
苑国良 - 被引次数 2 次
研究 "微机电系统" 相关问题的主要学者

赵小林胡晓东杨春生郭彤张国雄刘莹周兆英林良明王跃林
黄庆安
出版 "微机电系统" 相关文献的期刊

微纳电子技术微细加工技术中国机械工程清华大学学报光学精密工程传感器技术光机电信息
纳米技术与精密工机械工程学报半导体学报
对搜索结果不满意
 
 
全文文献 工具书 数字 学术定义 翻译助手 学术趋势 更多
 
CNKI主页 设CNKI知识元数据库搜索为主页 | 收藏CNKI知识元数据库搜索
  2006 CNKI-中国知网
京ICP证040431号 互联网出版许可证