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"MEMS器件" 英文对照

mems devices;
"MEMS器件" 在学术文献中的解释

1、但由于目前MEMS的发展水平还没有到广泛的实现微机械结构与微电子控制电路的芯片上集成绝大多数商业化的MEMS产品还基本上停留在单一的依靠微结构制作微传感器的水平所以只能把这些产品统称为MEMS器件
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